처리 대상 분석
재료: 광학급 석영유리
처리 기능: 다중-표면 윤곽 연삭(비대칭 면 3개 포함)
주요 차원: 16×16×10mm (오차 ±0.002mm)
손톱 크기만 한 이 석영 프리즘은 국내 고급 리소그래피 기계 광학 시스템의 핵심 도광 요소입니다.- 8개의 복잡한 곡면은 99.6%의 투과율과 나노미터{5}} 수준의 굴절 정확도를 달성해야 하며, 표면 거칠기는 리소그래피 기계의 노광 해상도에 직접적인 영향을 미칩니다.
업계의 문제점 및 기술적인 어려움
한 광학 기술 회사는 리소그래피 기계 국산화를 추진하던 중 석영 프리즘 가공에서 병목 현상에 직면했습니다.
전통적인 연삭 결함: 수작업 연마 후에도 거칠기는 여전히 Sa 120nm에 도달하여 광 산란 손실이 15%입니다.
장비 수입 의존도: 일본 초정밀 그라인더 1개 가격은- 2,000만 위안을 초과하고, 배송 기간은 최대 18개월입니다.
수익률 위기: 1차 시험생산 500개 중 32개만이 기준을 충족해 프로젝트 진행이 심각하게 지연되고 있음
'수입 장비를 감당할 수 없고, 국내 공정도 좋지 않다'는 딜레마가 독자적인 노광기 개발 과정을 직접적으로 가로막았다.
비센솔루션의 솔루션
BISHEN 기술 팀은 광학 부품의 극도의 정밀도 요구 사항에 대응하여 혁신적인 연구 개발을 개발했습니다.
1. 초음파 수직 5-축 연계 처리 시스템
2. 0.1μm- 수준의 동적 보정, 18축 연결 공작 기계의 정밀 제어
3. 비대칭 표면 CAD/CAM 지능형 프로그래밍 일치
4. 고주파-초음파 보조 연삭 기술
5. 40kHz 초음파 진동으로 절삭 응력이 52% 감소하고 석영 미세 균열이 방지됩니다.
6. 다이아몬드 마이크로-분말 연삭 휠 수명이 3배 연장되었습니다.
실제 측정된 성능 도약
특정 유형의 국내 리소그래피 기계 프리즘의 대량 생산에서 세 가지 주요 혁신이 달성되었습니다.
1. 표면 품질 : 거칠기 Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2. 처리 효율성: 단일- 작업 시간이 14시간에서 3.5시간으로 단축됩니다.
3. 비용 통제: 장비 투자는 수입 솔루션의 1/5에 불과합니다.
3,000개 제품의 첫 번째 배치 수율이 98.7%로 뛰어올라 고객이 예정보다 6개월 앞당겨 시제품 조립을 완료할 수 있었습니다.
에 대한비센
비센Precision Technology(2017년 설립)는 고급 제조 분야의 '병목 현상' 기술을 극복하는 데 중점을 두고 있습니다.- 둥관에 7,500평방미터 규모의 디지털 공장을 건설했으며 5축 연동 머시닝 센터, 초정밀 광학 연삭기 등 수입 장비 클러스터를 갖추고 있습니다.- 반도체 장비, 광전자 기기 및 기타 분야에 초음파 가공 및 극저온 절단과 같은 혁신적인 기술을 적용하여 20개 이상의 국내 리소그래피 기계 산업 체인 회사에 핵심 부품 처리 솔루션을 제공했으며 500,000개 이상의 정밀 광학 부품을 납품했습니다.
