초정밀 제조 분야--특히 반도체 및 광학 장비-진동 및 도구 채터링단순한 기계 가공 그 이상입니다. 이는 정확성, 표면 무결성 및 부품 신뢰성을 조용히 파괴하는 존재입니다. 이러한 문제는 특히 다음과 같은 경우 두드러집니다.고속-가공~와 함께작은-직경 도구, 여기서는-미크론 미만의 진동도 눈에 보이는 흔적을 남기거나 심각한 치수 변화를 유발할 수 있습니다.
고정밀 부품에서 Chatter가 중요한 이유-
Chatter는 다음과 같은 구성 요소에 예측할 수 없는 변수를 도입할 수 있습니다.
웨이퍼 스테이지 어셈블리
광학 정렬 모듈
고주파-주파수 커넥터
리소그래피 시스템 구조
리소그래피 도구용 정밀 정렬 부품 가공을 예로 들어 보겠습니다. 거의 감지할 수 없는 도구 진동으로 인해 방사상 표면 결함이 발생하고 나중에 시스템 교정 중에 정렬 드리프트가 발생했습니다.
도전적인 이유
도구 채터링은 종종 다음의 조합으로 인해 발생하거나 증폭됩니다.
공구 오버행이 길거나 클램핑 강성이 부족함
공구, 공작물, 기계 간의 공명
공격적인 절단 속도 또는 깊이
육안으로 감지하기 어려운 마이크로 공구의 마모
함께 일할 때1mm 미만의 마이크로{0}}엔드밀, 숙련된 기계 기술자라도 특정 속도 범위에서 특히 반도체 응용 분야에서 흔히 볼 수 있는 티타늄 또는 알루미늄 합금으로 작업할 때 잡음이 발생할 수 있습니다.
댐핑 채터에 대한 우리의 접근 방식
~에비센정밀, 우리는 고속, 고정밀-환경에서 채팅을 완화하기 위해 다각적인-전략을 적용합니다.
공진 주파수를 방지하기 위한 고조파 스핀들 속도 최적화
적응형 CAM 소프트웨어를 통해 생성된 맞춤형 도구 경로
처짐을 최소화하기 위해 최적화된 고정 장치를 갖춘 고강성 워크홀딩-
채팅 시작을 감지하고 피드를 자동 조정하는-실시간 모니터링-
최근 반도체 계측용 알루미늄 모션 플랫폼 프레임과 관련된 사례에서 당사의 채터 제어 접근 방식은 표면 물결을 90%까지 줄여 후처리나 랩핑이 필요하지 않게 했습니다.-
품질 관리의 침묵 요소
공구 떨림이 실제 손상-을 일으키거나 형상의 미묘한 변화, 더 높은 거부율 또는 일관되지 않은 계측 판독값이 발생할 때까지 감지되지 않는 경우가 많습니다. 귀하의 팀이 표면 마감 불일치 또는 설명할 수 없는 치수 드리프트와 싸우고 있다면,진동은 눈에 보이지 않는 근본 원인일 수 있습니다..
소음이 없는-성능과 더 나은 장기-일관성을 통해 정밀 가공 프로젝트를 안정화하는 데 어떻게 도움이 될 수 있는지 살펴보겠습니다.
